普赛斯半导体功率器件C-V测试系统主要由源表、LCR表、矩阵开关和上位机软件组成。LCR表支持的测量频率范围在 0.1Hz~1MHz,源表(SMU)负责提供可调直流电压偏置,通过矩阵开关加载在待测件上。进行C-V 测量时,通常在电容两端施加直流偏压,同时利用一个交流信号进行测量。一般使用的交流信号频率在10KHz 到1MHz之间。所加载的直流偏压用作直流电压扫描,扫描过程中测试待测器件待测器件的交流电压和电流,从而计算出不同电压下的电容值。
系统优势
►频率范围宽:频率范围10Hz~1MHz连续频率点可调;
►高精度、大动态范围:提供0V~3500V偏压范围,精度0.1%;
►内置CV测试:内置自动化CV测试软件,包含C-V(电容- 电压),C-T(电容- 时间),C-F(电容 - 频率)等多项测试测试功能;
►兼容IV测试:同时支持击穿特性以及漏电流特性测试;
►实时曲线绘制:软件界面直观展示项目测试数据及曲线,便于监控;
►扩展性强:系统采用模块化设计,可根据需求灵活搭配;
半导体参数测试,尤其是MOS CAP和MOSFET结构的半导体器件或材料