在过去的25年里,Cree取得了许多成功,包括实现更大尺寸的SiC衬底并消除其微管,以及将SiC二极管、SiC MOSFET和GaN HEMT推向市场。
碳化硅(SiC)的历史可以追溯到很久以前。由于流星碰撞,撞击了我们的星球,地球上发现了唯一的天然SiC,散落在峡谷暗黑、亚利桑那州等地。到了二十世纪,我们已经发展了合成这种宽带隙半导体材料的专业技术。然而,仅仅在过去的25年里,它已经成为我们生活中不可或缺的一部分,在汽车、手机、雷达技术和其他一系列应用中发挥着重要作用。
流星撞击产生的物质现在掌握在我们手中。这个故事真的很吸引人。1907年,SiC第一次走到聚光灯下。当时,在科学家亨利·约瑟夫·轮(Henry Joseph Round)的手中,出人意料地开发出了发光二极管(LED)的原型。这位无线电先驱漂洋过海,从英国来到纽约,为美国马可尼公司工作。当电流通过SiC时,他意外地观察到了“电致发光”现象。除了早期的无线电应用之外,SiC最初用于磨料中。SiC的发展在20世纪早期和中期非常缓慢,但随后开始了它的快速加速期。
这种变化的有力推动者之一是成立于1987年的科锐公司。该公司是由北卡罗来纳州立大学的一个研究团队建立的。在创业之初,其实对于SiC的潜力,我们还有很多地方可以挖掘。当时我们只知道这种材料在半导体和led的商业应用上有很好的前景,但并不完全知道如何实现。同时,高效生产SiC晶体的方法仍有待建立,这是大规模生产器件的先决条件之一。
最初几年,我们取得了几项重大突破,受到了鼓舞。里程碑式的成就包括开发第一个商用蓝色LED和第一个商用SiC晶片。虽然当时我们的基板直径只有1寸,价格也很贵,但我们还是可以从中发展业务。
这些成功为过去25年的进一步发展奠定了坚实的基础。在此期间,SiC的商业化发展迅速,直到今天还在继续加速。自从20世纪80年代硅技术从双极型半导体转变为互补金属氧化物半导体(CMOS)以来,我们现在正处于整个半导体行业最大的潜在变革之中。
主流突破
我们早期最大的成功之一是在1996年,当时大众汽车的仪表板采用了我们的蓝色LED。在此之前,我们一直在销售低效率的SiC LED。然而,在1995年,我们推出了基于GaN-on-SiC的后续产品。与大众的成功合作,实现了GaN-on-SiC LED在车辆上的首次大规模使用,也标志着这一技术被认可和接受。已经足够成熟,可以被主流汽车厂商采用。从那时到现在,验收的关键在于SiC材料的供应。在20世纪90年代初,高效和有效地生长SiC晶体是极其困难的,SiC晶体是LED和其他器件的基础。
生产高质量的SiC衬底非常具有挑战性的部分原因是存在超过200种不同的晶体结构以及各种多型体,并且其中只有少数几种适合半导体市场。更复杂的是,晶体生长需要将近2500摄氏度的高温..我们感受不到这么高的温度,但可以从另一个角度解释。它的温度是太阳的一半,远远超过熔岩的温度约1700摄氏度。
多年来,我们的工程师不断开发和完善工艺,我们已经实现了单晶棒的生产。这些棒只有一些晶体缺陷。通过增加它们的尺寸,晶片直径从2英寸增长到3英寸、4英寸、6英寸和现在的200毫米。这一进步得益于我们在开发周期上的投入远远超过其他SiC厂商。今天,我们的碳化硅产量超过整个碳化硅材料市场的60%。但更重要的是,在过去的25年里,我们为市场提供了超过96%的SiC晶圆,因为从1989年开始,我们为LED业务提供了大量的晶圆支持。
满足主流汽车制造商的需求促使我们在SiC生产方面取得了首次突破。时至今日,这仍然是市场上的重要话题,汽车制造商正在将SiC集成到面向大众市场的纯电动汽车的动力总成和充电器中。
照明革命
在LED首次大规模应用于汽车之后,全世界都经历了手机的飞速发展。起初,手机只是富人的新奇奢侈品,但后来它迅速成为许多人的必需品。从那以后,每年手机厂商的产量都达到了几百万。
2001年手机市场发力,厂商开始在最新机型中集成LED。最初,它们被用来为键盘提供背光。几年后,它们成为彩色屏幕的光源。它们能耗低,体积小,坚固耐用,可以用电池供电,是满足这些功能的理想选择。这个市场带来的led大规模生产,使得GaN-on-SiC的销量再次出现大幅增长。
在这一点上,氮化镓基发光二极管已经找到了他们的第一个杀手级应用。然而,尽管他们已经取得了如此巨大的进步,距离成为提供日常照明的可用选项还有很长的路要走。在此之前,需要丰富这些光源产生的色彩,提高它们的效率,降低它们的价格,这样才能与白炽灯泡竞争。
科锐在这些方面都取得了长足的进步,并于2006年推出了业界首款照明级LED。这些设备被称为XLamp产品组合,提供100 lm/W的光效,比荧光灯更高效。经过几十年的平静,照明革命开始了。
LED照明有很多优点。它耐用、寿命长、无汞、高效、节省电费,并有助于减少碳足迹。但一开始并不被照明基建部门看好。然而,这不是偶然。毕竟,即使在当时被认为是将产品推广到公共领域的良好商业模式,也往往会在一年内失败,因此不得不被取代。为了促进转型,我们开始销售自己的LED照明设备,向世界展示其可能性。我们的产品涵盖各种室内和室外照明灯具,从荧光灯替代品到LED路灯。
终于在2013年,我们有了一个重要的展览,发布了我们的第一个LED灯泡。这看起来和其他科技项目的成果大相径庭。它的风格和感觉与白炽灯泡一样,零售价不到10美元。此次发布旨在开启LED照明的大规模应用,我们称之为“自灯泡以来最重要的东西”。
在LED照明取得这些重大突破后,我们开始更加关注照明领域之外的创新。这使我们走上了今天的发展道路。今天,我们致力于成为全球半导体领导者,引领从Si到SiC的转变。
射频领域的先驱
1998年,我们在射频(RF)领域取得了第一个重大突破,并展示了第一个碳化硅基氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN-on-SiC HEMT)。与当时的蓝宝石基氮化镓(GaN-on-sapphire)相比,该器件具有更高的信号增益和400%的功率密度(瓦特/毫米),是无线和广播高功率应用的有力选择。
两年后,我们展示了第一个氮化镓单片微波集成电路(氮化镓MMIC)。这个器件的功率密度和以前一样高空,可见替代GaAs的可行性。GaN MMIC的超高功率密度不仅使器件能够支持更高的功率输出,还能在相同功率水平下提供更宽的带宽。
2008年,我们取得了进一步的成功。我们推出了首款GaN射频器件,它利用GaN-on-SiC的优势极大地提高了射频性能。利用高击穿电场,GaN可以在非常高的电压下工作,从而在不损失可靠性的情况下获得高功率密度。以SiC为基础,GaN器件位于超高热导率的平台上。该衬底非常适合于耗散高功率密度并将结温保持在合理的水平。因此,GaN射频器件可以提供更高的输出功率,而不增加器件尺寸。这些特性使RF行业能够设计更小、更高效、更强大的RF系统。
在过去的十年里,我们不断提高GaN-on-SiC射频器件的性能。它们已广泛应用于航空空航天和国防工业中,以提高各种系统的性能,同时也用于电信基础设施市场所需的更高效率的功率放大器中。
SiC的崛起
电在20世纪初开始成熟。最早的例子是1902年研制的汞弧整流器,用于将交流电转化为直流电。硒在20世纪30年代早期取代了汞,直到20世纪50年代才被硅取代。当时,工程师们发明了第一个硅基双极结型晶体管(BJT)和金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET),后者直到20世纪70年代才开始适用于电力电子。硅电力电子学的最后一个重大突破是绝缘栅双极晶体管(IGBT)的开发,发生在20世纪80年代。
SiC在电力领域的应用迎来了材料领域的下一次重大突破。NASA 空等许多单位和部门都对此表示支持,并在90年代初开始支持该项目。为了使SiC在主流技术中占有一席之地,SiC晶片需要更低的价格、更大的尺寸和更少的缺陷。只有大幅度降低缺陷密度,才能制造出足够面积的器件,可以在大电流下工作。
微管缺陷是一个众所周知的棘手问题。曾经有一段时间,人们认为微管是SiC固有的,所以不可能消除。此外,这不是唯一的主要绊脚石。当时,SiC上的氧化物被认为是天生不可靠的,因此不可能制造出可靠的MOSFET。即使克服了这两个难题,如果SiC晶片的尺寸不够大,除了最小众、成本不敏感的应用之外,其器件也无法在更广泛的领域更好地发挥价值。如果是这样,可能就白费了。
历史证明,这些问题都解决了。2001年和2002年,英飞凌和科锐分别推出了第一款小型SiC肖特基势垒二极管,并取得了各种成功。这为我们在2011年初推出首款商用SiC功率MOSFET铺平了道路。
SiC二极管和晶体管的引入对电力电子行业产生了重大影响。这为更快的开关频率、更高的效率和卓越的功率密度打开了大门。所有这些都是有效的电力电子系统可持续发展的关键。这些特性使SiC电力电子能够支持各种新兴产业,包括:太阳能和风能等可再生能源的电力转换,储能转换,以及电动火车、公共汽车和其他公共交通工具。碳化硅功率器件还用于不间断电源、工业高频电源和电机驱动。在所有这些应用中,使用SiC器件的系统具有更高的工作效率、更小的空间空、更轻的重量并且不需要大量的冷却系统。这些优势是非常可贵的,我们可以看到SiC正在推动各个行业的不断创新。
创新的态度
当我们回顾过去25年中的这些里程碑时,我们将审视和思考在此期间取得的所有突破。无论是从公司的演变,还是从SiC的历史来看,显而易见,Cree对创新的执着追求是强大的推动力。我们遇到了许多困难,其中一些甚至被认为是不可克服的。有些人尝试然后放弃,而有些人永远不会开始这些挑战。有人认为SiC中的微管无法消除。你不可能做出大于2英寸的晶圆,也不可能做出不退化的双极器件。克里最终通过坚定不移地克服障碍,证明了这一切都是错误的谬误。我们的DNA决定了我们永远不会因为有人说不可能就掉头放弃。
在一些事情上,我们不仅打破了障碍,而且努力前进,树立了新的标杆。在开发出第一个2英寸的SiC衬底后,我们已经克服了4英寸的障碍,现在我们正在推进200毫米晶片的生产。我们相信在不久的将来会实现量产。我们走过了一段充满挑战和冒险的旅程,一路走到现在,但前路依然漫长。当我们眺望远方时,一个前所未有的光明未来正向我们招手。SiC必将在各种应用中发挥越来越重要的作用。
电动汽车的应用是SiC面临的最大机遇之一。第一批由SiC材料制成的车辆已经上路。事实上,每个全球制造商都在将这项技术纳入未来的设计中,预计在未来几年内将取得可喜的成果。用SiC器件替代硅器件,可以使电动汽车的续航里程提高5%-10%,或者使昂贵电池的成本降低5%-10%。这一最受欢迎的优势迅速将SiC的地位推至逆变器、车载充电器和非车载充电器必备组件。由于续航里程是人们购买电动汽车的重要考虑因素,因此采用SiC对促进汽车销售也有重要影响。同时,采用SiC也不会给电动汽车厂商带来成本压力。与硅技术相比,SiC有助于降低整体成本。随着电动车厂商从400V系统向800V系统转型,SiC的作用将进一步放大。从效率等性能指标来看,电动汽车厂商改用SiC将获得更大的利益。
在过去的25年里,通信领域取得了飞速的创新和发展。目前,它正在经历5G网络和微微蜂窝的快速增长,以及小型分布式天线、雷达应用、航空空航空航天和国防工具的增长。对于所有这些应用,GaN-on-SiC器件在效率和带宽方面都优于硅,但它们的尺寸要小得多。
SiC带来的进步增加了行业对这种材料的需求。为了加强全球供应(我们的供应量已经占全球总量的60%),我们宣布了一项10亿美元的产能扩张计划,将在纽约的达勒姆总部和莫霍克山谷建立新的制造工厂。等量产到位,我们公司的产能会比2017年的水平提高30倍。
在过去的25年里,SiC和半导体行业经历了前所未有的变化。展望未来,未来25年将是一个更具革命性的时期。我们期待他们取得突破,这在今天看来是不可能的。能有幸参与到这些改变中来,真的很让人兴奋!同时也期待着即将到来的拓荒时代!